第26回：オープンコラボレーションによるマイクロシステム融合研究開発

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems: 微小電気機械システム）は今や、自動車のエアバッグ、携帯電話、ゲーム機で使われる加速度センサーや、プロジェクターで光を制御するミラーデバイス、等としてICチップに組み込まれて広く応用されています。この微細加工技術の生みの親である江刺先生に、更なる普及を目指すオープンコラボレーションによる最近の研究開発を中心にお話を伺いました。大学院時代に始まり、一貫して協同研究の場を提供されながらMEMSへと飛躍的に発展されたご様子をお聞きすることが出来ました。